・清浄度:ISO-5(クラス100)
・集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上
・集塵要素:給気フィルター:HEPAフィルター、排気フィルター:HEPAフィルター
・処理風量:給気(m³/min):約11.7 / 約15.3 / 約19.0 / 約22.7
・処理風量:排気(m³/min):約2.5 / 約2.5 / 約3.2 / 約3.2
・吹出風速:0.45~0.51m/sec
・電源:AC100V 1Φ 50/60Hz
・消費電力(W):約190 / 約210 / 約270 / 約330
・設備電力(VA):約310 / 約350 / 約440 / 約550
